本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的分析方法。
本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分（氢气、氯化氢、三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅）的测定。本标准的检测范围为体积分数0.1%～100%。
YS/T 983-2014多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法
YS_T 983-2024《硅多晶还原炉尾气成分的测定 气相色谱法》
色谱柱：
长1-2米，内径5mm，内填硅烷化材料
应用：安捷伦，岛津，赛默飞，瓦里安，布鲁克，PE，磐诺，东西电子，北分瑞利，福立，科创，华爱，川仪，天美，天瑞
Haohan GC System 气相色谱仪
现代实验室始终面临各种各样的实际问题，需要采用切实可行的方法予以解决。处理复杂样品基质、保持数据完整性以及满足用户培训需求等问题可能导致大量的时间和资源浪费。
Haohan 7 GC System 气相色谱仪， 是浩瀚为这些问题提供的一款，快速气相色谱仪，在环境，生物，食品，医药，石化，卫生，院校等行业得到应用.
Haohan GC System 气相色谱仪详情：
1. 工作条件
1.1. 温度： 5°C -- 35°C
1.2. 湿度：5 – 85%
1.3. 电源：AC 220±10%；50±0.5Hz
2. 柱温箱
2.1. 温度：室温5°C -- 400°C
2.2. 程序升温：7阶程升，可扩充16阶
2.3. 在5min内，从400°C降温到50°C
2.4. 温度精度：室温每波动1°C ，柱温箱的温度波动＜0.1°C
2.5. 双通道柱流失补偿
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