本标准规定了瓶装电子工业用气体—四氟化碳的技术要求、试验方法、检验规则及
标志、包装、运输、贮存和安全的要求。
本标准适用于氟和碳直接反应化合生成并经过纯化处理的四氟化碳产品。它主要用
于微电子工业中等离子体工艺等离子体刻蚀和化学气相，以及太阳能硅片生产工艺。
分子式：CF4
分子量：88.00（按2003年国际原子相对质量）。
浩瀚色谱（山东）应用技术开发有限公司，采用多维氦离子检测器气相色谱法测定了电子工业用气体—四氟化碳中氢，氧氩，氮，一氧化碳，二氧化碳，六氟化硫等杂质，柱效高，分离好，结果满意。
多阀，多柱，反吹，切割功能的DID检测器
名称：填充柱
固定相：多孔聚合物
规格：4m*3MM(内径）
型号：PQ/Porapak Q
粒度：60-80目
应用：电子工业用气体—四氟化碳
名称：MS5A填充柱
规格：3m*2MM，60-80Mesh
使用温度：300°C
编号：20230207007
应用： GBT 电子工业用气体 四氟化碳
Haohan GC System 气相色谱仪
现代实验室始终面临各种各样的实际问题，需要采用切实可行的方法予以解决。处理复杂样品基质、保持数据完整性以及满足用户培训需求等问题可能导致大量的时间和资源浪费。
Haohan GC System 气相色谱仪， 是浩瀚为这些问题提供的一款，快速气相色谱仪，在环境，生物，食品，医药，石化，卫生，院校等行业得到广泛应用.
Haohan GC System 气相色谱仪详情：
1. 工作条件
1.1. 温度： 5°C -- 35°C
1.2. 湿度：5 – 85%
1.3. 电源：AC 220±10%；50±0.5Hz
2. 柱温箱
2.1. 温度：室温5°C -- 400°C
2.2. 程序升温：7阶程升，可扩充16阶
2.3. 在5min内，从400°C降温到50°C
2.4. 温度精度：室温每波动1°C ，柱温箱的温度波动＜0.1°C
2.5. 双通道柱流失补偿
3. 加热区域
3.1. 除柱温箱外，有5个独立的加热区域（3个进样口，2个检测器，2个辅助区）/可扩充
3.2. 辅助区的最大温度：400°C
4. 隔膜吹扫填充柱进样口
4.1. 手动控制压力/流量（可选配电子控制）
4.2. 最高温度400°C
4.3. 压力设定范围：0－100psi
4.4. 气体流量设定范围：0－100mL/min
4.5. 可用于1/4”、1/8”填充柱和0.53mm毛细柱
5. 分流/不分流进样口
5.1. 可以用于50um到530um的色谱柱
5.2. 分流比最大可到3000:1
5.3. 省气模式可以节约气体用量（选配）
5.4. EPC功能（选配）。
5.5. 电子控压精度：0.001 psi（千分之一psi）（选配）
5.6. 最高温度400°C
5.7. 压力范围：0 -- 100psi
6. 冷柱头进样系统（选配）
7. 显示屏
320*240英寸中英文显示界面，更适合产品的出口。
8. 检测器
8.1氢火焰离子化检测器（FID）
最高使用温度：400℃
最小检出限：≤2.5*10 -12 g/s(n-C16)
线性范围：107（±10%）
噪声≤5×10-14A
漂移≤2×10-13 /30min
自动点火方式（选配）
8.2热导检测器（TCD）
适配填充柱及毛细管柱
最高使用温度：300℃
灵敏度S≥3000mv.ml/mg（苯）
灵敏度S≥5000mv.ml/mg（选配）
灵敏度S≥8000mv.ml/mg（选配）
灵敏度S≥10000mv.ml/mg（选配）
线性范围：105（±5%）
漂移：≤0.1mv/30min
噪声：≤20uv
8.3火焰光度检测器（FPD）
最高使用温度：350℃
最小检出限：<2*10 -11 g S/s, <9*10 -13 g P/s
线性范围：>103 S, 104 P
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